[文章導讀] 等離子表面處理技術原理及應用 等離子，即物質的第四態，是由部分電子被剝奪后的原子以及原子被電離后產生的正負電子組成的離子化氣狀物質。這種電離氣體是由原子，分子，原子團，離子，電子組成。

等離子表面處理技術原理及應用 等離子，即物質的第四態，是由部分電子被剝奪后的原子以及原子被電離后產生的正負電子組成的離子化氣狀物質。這種電離氣體是由原子，分子，原子團，離子，電子組成。

等離子表面處理作用在物體表面可以實現物體的超潔凈清洗、物體表面活化、蝕刻 、精整以及等離子表面涂覆，因而就出現了等離子表面處理刻蝕機，等離子表面處理清洗機等等設備。根據等離子體中存在微粒的不同，其具體可以實現對物體處理的原理也各不相同，加之輸入氣體以及控制功率的不同，都實現了對物體處理的多樣化。

等離子表面處理

因低溫等離子體對物體等離子表面處理的強度小于高溫等離子體，能夠實現對處理物體表面的保護作用，應用中我們使用的多為低溫等離子體。并且各種粒子在對物體處理過程中所表現出來的作用也個不相同的，原子團（自由基）主要是實現對物體表面化學反應過程中能量傳遞的“活化”作用；電子對物體表面作用主要包括兩方面：一方面是對物體表面的撞擊作用，另一方面是通過大量的電子撞擊引起化學反應；離子通過濺射現象實現對物體表面的處理；紫外線通過光能使物體表面的分子鍵斷裂分解，并且增強穿透能力。

等離子表面處理能夠在材料科學、高分子科學、生物醫藥材料學、微流體研究、微電子機械系統研究、光學、顯微術和牙科醫療等領域得到應用。

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